1. Contexte du projet

L'équipement de décapage humide est un outil essentiel utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs et de précision. Sa fonction principale est d'éliminer les couches minces ou les revêtements des substrats grâce à des solutions chimiques contrôlées et à la gestion de la température. Ces systèmes sont largement utilisés dans la microélectronique, les composants optiques, les écrans flexibles et d'autres industries de haute précision, où la cohérence et la stabilité des processus sont essentielles.

Un système de décapage humide typique comprend un module de circulation chimique, un système de contrôle précis de la température, un système de distribution de solution et une plateforme d'automatisation programmable. Étant donné que la qualité du décapage est très sensible aux paramètres du processus, l'équipement doit maintenir un contrôle strict des niveaux de liquide, de la température, du débit et de la stabilité chimique pour garantir des résultats de décapage uniformes tout en réduisant les dommages aux substrats.

Ce projet vise à fournir une solution d'automatisation stable, précise et à haut rendement pour une chaîne de production de décapage humide de semi-conducteurs, améliorant ainsi le débit et la qualité des produits.

2. Aperçu de la solution

• Contrôleur principal :API Keyence

• Processus applicable :Lithographie frontale — processus humide de pré-structuration

• Configuration des E/S :Environ 100 points d'E/S numériques

• Volume de déploiement annuel :80 unités

3. Mise en œuvre technique

L'équipement de décapage humide adopte un API Keyence combiné à des modules d'E/S de la série RS, formant un système de contrôle d'automatisation complet et fiable conçu pour une exécution précise des processus.

1. Acquisition d'entrée multi-capteurs

Le module d'E/S collecte les signaux de processus essentiels de divers capteurs, notamment :

• Capteurs de niveau de liquide

• Capteurs de température

• Capteurs de débit

• Capteurs d'état de circulation chimique

Ces signaux garantissent une surveillance précise de l'alimentation en produits chimiques, de la constance de la température et de la stabilité du processus tout au long du cycle de décapage.

2. Contrôle précis des actionneurs

Grâce à un traitement logique à grande vitesse, l'API contrôle les modules d'E/S et exécute des actions coordonnées telles que :

• Ajustements du chauffage chimique

• Distribution précise de la solution

• Commutation de nettoyage et de circulation

• Contrôle des vannes

• Protection et verrouillage de sécurité

Cela garantit que l'ensemble de la séquence de décapage se déroule en douceur, efficacement et en toute sécurité.

3. Amélioration de la cohérence des processus

L'automatisation minimise les erreurs humaines et améliore la traçabilité des données. La logique de contrôle unifiée garantit des performances de décapage reproductibles, améliorant ainsi le rendement tout au long du processus de semi-conducteurs.

4. Avantages de la solution

Conception compacte et légère

La structure modulaire permet une intégration transparente dans les chaînes de traitement humide à grande échelle, réduisant l'espace d'installation et améliorant la flexibilité.

Installation et maintenance faciles

L'architecture d'E/S plug-and-play réduit la complexité du câblage, tandis que l'API prend en charge le dépannage et les diagnostics rapides, minimisant ainsi les temps d'arrêt du système.

5. Résultats et valeur livrée

En mettant en œuvre l'architecture d'automatisation API Keyence + E/S RS, le système de décapage humide a obtenu :

• Une plus grande cohérence du décapage qui répond aux exigences de précision au niveau des semi-conducteurs

• Une automatisation améliorée et une intervention réduite de l'opérateur

• Une efficacité et un rendement de production accrus

• Une forte évolutivité pour les futures mises à niveau des processus

Cette solution a été déployée avec succès dans les chaînes de pré-traitement de lithographie frontale et a reçu des commentaires très positifs de la part des clients.