Amélioration de l'efficacité du nettoyage des plaquettes grâce aux modules d'entrée/sortie à distance de la série Decowell RB

Contextes de l'industrie
Dans la fabrication de semi-conducteurs, les plaquettes de silicium doivent passer par une série de processus de précision tels que la découpe, le broyage des bords, le lapage, le traitement de surface, le polissage et la croissance épitaxielle.Ces étapes laissent inévitablement la surface de la gaufre contaminée par des particulesLa phase de nettoyage des plaquettes joue un rôle essentiel dans l'élimination de ces impuretés afin d'assurer le rendement et la fiabilité des produits finis.Le processus exige non seulement une précision, mais aussi une stabilité et un contrôle intelligent pour minimiser les pertes de production et les risques de contamination.

Vue d'ensemble du projet
Pour répondre aux exigences strictes du nettoyage moderne des plaquettes, le projet intègre uneOmron PLC comme contrôleur principal, combiné avec uneConfiguration des entrées et sortiesavec DecowellModules d'entrée/sortie à distance de la série RBLa configuration comprend:

• 3 × RB-1110 Coupleurs de bus

• Modules 3×16DI

• Modules 3 × 16DO

• 1 × module d'entrée analogique (AI)

• Module de sortie analogique (AO)

Cette configuration permet la collecte et le contrôle en temps réel des données sur les paramètres critiques de nettoyage, y compris l'état opérationnel de l'équipement, la pression du fluide et les concentrations chimiques.

La série Decowell: compacte, efficace et fiable
Les modules d'entrée/sortie à distance de la série Decowell RB sont conçus pour répondre aux besoins de haute performance du contrôle automatisé des processus.facteur de forme ultra-minceetConception adaptée au DINLa série RB permet un déploiement rapide, même dans des armoires électriques à l'espace limité.surveillance en temps réel et diagnostic à distanceLe système de nettoyage permet aux techniciens d'identifier les anomalies telles qu'une pression instable ou un dosage inapproprié sans avoir à effectuer d'inspections sur place.

Cette visibilité en temps réel de l'état du système garantit une réponse rapide aux écarts, minimise les temps d'arrêt et aide à maintenir des performances de nettoyage optimales sur chaque lot de plaquettes.l'architecture modulaire de la série RB prend en chargeélargissement souple, permettant aux fabricants d'adapter l'échelle d'E/S à différentes lignes de production et à de futures améliorations.

Les effets de l'application
D'une valeur annuelle de l'utilisation supérieure100, 000 unités, la série Decowell RB s' est avérée être unerobuste, évolutif et rentableLes clients rapportent une transparence accrue des processus, une utilisation améliorée des équipements et une réduction des temps de maintenance.L'intégration permet également une connectivité de niveau supérieur, permettant une communication fluide avec les systèmes SCADA ou MES pour construire une infrastructure d'usine véritablement intelligente.

Conclusion
Dans les industries axées sur la précision comme la fabrication de semi-conducteurs, le matériel d'automatisation doit offrir à la fois fiabilité et flexibilité.La solution d'entrée/sortie à distance de la série RB de Decowell répond non seulement aux exigences techniques des processus complexes de nettoyage des plaquettes, mais améliore également l'intégration du système, l'évolutivité et la durabilité à long terme, ce qui en fait un choix fiable pour la fabrication intelligente de nouvelle génération.