Solution de contrôle d'automatisation pour les équipements de revêtement de semi-conducteurs

Solution de contrôle d'automatisation pour les équipements de revêtement de semi-conducteurs

Résumé de l'affaire:
Dans l'industrie des semi-conducteurs, les machines de revêtement sont essentielles dans le processus de photolithographie, responsables de l'application de photorésistants ou d'autres matériaux fonctionnels sur des plaquettes ou des substrats.Utilisation de méthodes de revêtement par rotation ou par pulvérisation, ces machines forment des films minces uniformes et stables pour assurer la précision des motifs. Un équipement de revêtement avancé est équipé d'un contrôle d'épaisseur précis, d'excellentes performances d'uniformité,et systèmes de positionnement de haute précisionIls sont souvent équipés de bras de chargement/déchargement automatisés et de systèmes de contrôle de rétroaction en temps réel pour améliorer l'efficacité de la production et assurer une qualité de revêtement constante.

Résolution:

• Contrôleur principal:OMRON PLC

• Procédure applicable:Le revêtement

• Configuration d'entrée/sortie du projet:Le produit doit être présenté à l'organisme d'inspection.

• Utilisation annuelle:1 million de pièces

Dans le cadre de ce projet, le client intègre un PLC OMRON avec les produits MTC de Decowell pour construire un système de commande pneumatique compact et efficace pour les équipements de revêtement.Les soupapes électromagnétiques entraînent les cylindres pour contrôler avec précision le mouvement vertical et horizontal de la buse de pulvérisationDes cylindres supplémentaires entraînent les bras automatiques de chargement et de déchargement, qui transportent les substrats entre le revêtement et le convoyeur.

Le système intègre des modules d'E/S dans l'îlot de soupape, permettant une connexion facile des capteurs de position et des interrupteurs magnétiques.Avec architecture modulaire, le système offre une excellente évolutivité et flexibilité pour répondre à différentes configurations d'équipement.

Avantages de l' application:

• Une intégration élevée réduit le câblage et permet d'économiser de l'espace sur les panneaux

• Modules d'E/S élargis pour les futures mises à niveau du système

• Contrôle précis du mouvement des buses de pulvérisation et des bras de manutention

• Des performances stables et efficaces adaptées à la production en grande quantité